Povedzte o tejto položke priateľom:
Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems Francis E H Tay 2002 edition
Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems
Francis E H Tay
Although standard IC fabrication steps, particularly lithographic techniques, are leveraged heavily in the creation of MEMS devices, additional customized and novel micromachining techniques are needed to develop sophisticated MEMS structures.
299 pages, biography
| Médium | Knihy Hardcover Book (Kniha s pevnou väzbou a obalom) |
| Vydané | 31. augusta 2002 |
| ISBN13 | 9781402071751 |
| Vydavatelia | Springer-Verlag New York Inc. |
| Strany | 299 |
| Rozmery | 155 × 235 × 19 mm · 712 g |
| Jazyk | Angličtina |
| Editor | Tay, Francis E. H. |
Viac od Francis E H Tay
Zobraziť všetkoViac od toho istého vydavateľa
Pozrieť všetko od Francis E H Tay ( napr. Hardcover Book a Paperback Book )