Lithography Process Control - Tutorial Texts - Harry J. Levinson - Knihy - SPIE Press - 9780819430526 - 01. februára 1999
V prípade, že obal a názov nesedia, platí názov

Lithography Process Control - Tutorial Texts


Dostávať e-mail, keď bude položka k dispozícii
Do you have a profile? Prihlásiť sa
Pridať do vášho zoznamu prianí na iMusic

This text is intended to be a self-contained tutorial on lithography process control. It works as an introduction to those entering the field, and as a reference for the experienced lithography engineer. Topics covered include linewidth control, overlay, and yield.


194 pages, Illustrations, 1 port.

Médium Knihy     Paperback Book   (Kniha s mäkkou väzbou a lepeným chrbtom)
Vydané 01. februára 1999
ISBN13 9780819430526
Vydavatelia SPIE Press
Strany 194
Rozmery 150 × 220 × 10 mm   ·   444 g

Mere med samme udgiver