Rapid Thermal Processing: Science and Technology - Fair - Knihy - Elsevier Science Publishing Co Inc - 9780122476907 - 15. apríla 1993
V prípade, že obal a názov nesedia, platí názov

Rapid Thermal Processing: Science and Technology


Dostávať e-mail, keď bude položka k dispozícii
Do you have a profile? Prihlásiť sa
Dostávajte upozornenia na nové nahrávky interpreta Fair
Pridať do vášho zoznamu prianí na iMusic

Not rated yet

Discusses rapid thermal processing (RTP), an essential manufacturing technology for single-wafer processing in highly controlled environments. The text provides information on the suitability of RTP for thin film deposition, junction formation, silicides, epitaxy and "in situ" processing.


430 pages

Médium Knihy     Hardcover Book   (Kniha s pevnou väzbou a obalom)
Vydané 15. apríla 1993
ISBN13 9780122476907
Vydavatelia Elsevier Science Publishing Co Inc
Strany 430
Rozmery 152 × 229 × 25 mm   ·   725 g
Editor Fair, Richard B.

Viac od Fair

Zobraziť všetko

Viac od toho istého vydavateľa