Povedzte o tejto položke priateľom:
Rapid Thermal Processing: Science and Technology Fair
Do you have a profile? Prihlásiť sa
Dostávajte upozornenia na nové nahrávky interpreta Fair
Pridať do vášho zoznamu prianí na iMusic
Rapid Thermal Processing: Science and Technology
Fair
Discusses rapid thermal processing (RTP), an essential manufacturing technology for single-wafer processing in highly controlled environments. The text provides information on the suitability of RTP for thin film deposition, junction formation, silicides, epitaxy and "in situ" processing.
430 pages
| Médium | Knihy Hardcover Book (Kniha s pevnou väzbou a obalom) |
| Vydané | 15. apríla 1993 |
| ISBN13 | 9780122476907 |
| Vydavatelia | Elsevier Science Publishing Co Inc |
| Strany | 430 |
| Rozmery | 152 × 229 × 25 mm · 725 g |
| Editor | Fair, Richard B. |
Viac od Fair
Zobraziť všetkoViac od toho istého vydavateľa
Pozrieť všetko od Fair ( napr. Hardcover Book , Book a Paperback Book )